Постоянство давления в каждой шлюзовой камере поддерживается индивидуальными вакуумными насосами. Только в установках с открытыми шлюзами возможно действительно непрерывное движение полосы или деталей из атмосферы в вакуумную камеру и обратно. В шлюзовых системах закрытого типа каждая камера изолируется от соседних вакуумно-плотными затворами и имеет свою собственную откачную систему. Затвор между соседними камерами открывается только при достижении равенства давлений в них. Простейшая установка со шлюзами закрытого типа состоит из трех камер: входной, рабочей и выходной. Одну или несколько подложек загружают во входную камеру, которую после этого закрывают и откачивают до такого же давления, как в рабочей камере. При достижении равенства давлений затвор между входной и рабочей камерами открывают, и подложки транспортируются в зону нанесения покрытий. Затем затвор снова закрывают, входную камеру разгерметизируют и загружают в нее новую партию подложек. Аналогично выгружаются детали с покрытиями, нанесенными в вакууме, через выходную камеру в атмосферу.
Производительность установок со шлюзами закрытого типа выше, чем периодических вследствие частичного совмещения времени проведения рабочих операций со временем холостых операций по загрузке подложек и предварительной откачке шлюзовых камер. Если время загрузки и откачки шлюзовой камеры превышает время проведения операций в рабочей камере, установку снабжают несколькими шлюзовыми камерами, имеющими самостоятельные системы откачки. При этом в каждой камере производится откачка в определенном диапазоне давлений за время, не превышающее общего времени рабочего цикла. Для уменьшения времени откачки размеры камер стремятся сделать минимальными.
Шлюзовые системы указанного типа, как и отборное устройство, находят широкое применение в различных отраслях промышленности. Например, для нанесения тонких пленок термическим и катодным распылением. В литературе имеются патенты и авторские свидетельства, в которых предложены те или иные варианты шлюзовых систем. Так, П. И. Бахур и Ю. А. Екимов предлагают загрузочный механизм выполнять в виде ротора с расположенными по окружности гнездами для загрузки изделий. Авторы изобретения для увеличения герметичности уплотнения поворотного шлюзового ротора предлагают выполнять его из самосмазывающегося материала с кольцевыми и полукольцевыми полостями, заполненными материалом типа вакуумной резины. Для обеспечения надежной работы шлюзового устройства А. Ю. Абеле предлагает изготовлять затвор из эластичного материала в виде чулкообразной диафрагмы и укреплять его герметично по периметру корпуса в местах фланцевого соединения с вакуумной камерой. При этом полость, образованная корпусом и затвором, соединена с пневмосистемой, а затвор зажат в крайних точках горизонтального диаметра зажимами, связанными с рычажной системой, имеющей общий привод с пневмосистемой.
|
